当社には元装置メーカーのエンジニアが多数在籍しておりますのでリファブから突発的なトラブル、定期メンテナンス、改造など幅広く対応をお請けしております。

装置の買い付け

当社エンジニアが直接現地まで出向き、程度の良い装置だけを吟味して履歴の確かな装置のみを買い付け。

リファブ作業の流れ

1：フレームレベルに解体

ユニットを単体レベルでクリーニング

2：消耗品交換

経験的に交換が必要と判断した部品は予め交換
（設置後の初期トラブル防止の為にも必ず実施）

3：故障箇所の修理、もしくは部品交換

4：カバー類は全て再塗装

樹脂カバーについては新規製作
（オリジナルデザインを取り込み機能向上）

5：ユニット毎の調整

6：組立、調整

最終確認

性能確認と最終調整
（メーカーと同等スペックに調整）

出荷

1：出荷前にユーザー立会い検査を実施

2：梱包

3：出荷

メンテナンス（アフターフォロー）

1：客先での立上げ作業

2：客先での定期メンテナンス

3：突発トラブル

4：ユニット引取オーバーホール

5：各種点検作業

供給可能部品

1：UM01、02ミラー再コート（MPA)

2：照明系ミラー、レンズ（PLA、MPA)

3：その他消耗部品

改造

各種ウェハに対応やご希望される改造についてもお打合せにより、内容の取決めも対応できます。
その他、お問合わせ下さい。

リファビッシュ販売実績（2008年現在）

MPAシリーズ：40台（国内、海外）

PLAシリーズ：41台（国内、海外）

MPAリモートコントロール

1台のコンソールユニットで最大6台までのMPAを管理するコントロールシステムです。
詳しくは下記よりご覧下さい。

装置の買い付け

当社エンジニアが直接現地まで出向き、程度の良い装置だけを吟味して履歴の確かな装置のみを買い付け。

リファブ作業の流れ

1：消耗品交換

経験的に交換が必要と判断した部品は予め交換
（設置後の初期トラブル防止の為にも必ず実施）

2：故障箇所の修理、もしくは部品交換

3：カバー類は全て再塗装

樹脂カバーについては新規製作
（オリジナルデザインを取り込み機能向上）

4：ユニット毎の調整

5：組立、調整

最終確認

性能確認と最終調整
（メーカーと同等スペックに調整）

出荷

1：出荷前にユーザー立会い検査を実施

2：梱包

3：出荷

メンテナンス（アフターフォロー）

1：客先での立上げ作業

2：ロボット オーバーホール

3：ポンプ オーバーホール

4：チップ（フィラメント）交換

5：各種点検作業

改造

1：搬送系ＳＭＩＦ改造（S8000,S9000)

2：インチコンバージョン（4,5,6,8インチ）

販売実績（2008年現在）

S-8000シリーズ：4台

S-9000シリーズ：3台

当社には元装置メーカーのエンジニアが在籍しておりますのでリファブから突発的なトラブル、定期メンテナンス、などの対応をお請けしております。

装置の買い付け

当社エンジニアが直接現地まで出向き、程度の良い装置だけを吟味して履歴の確かな装置のみを買い付け。

リファブ作業の流れ

1：フレームレベルに解体

ユニットを単体レベルでクリーニング

2：消耗品交換

経験的に交換が必要と判断した部品は予め交換
（設置後の初期トラブル防止の為にも必ず実施）

3：故障箇所の修理、もしくは部品交換

4：配管、ガスライン全て交換

5：ユニット毎の調整

6：組立、調整

最終確認

性能確認と最終調整

出荷

1：出荷前にユーザー立会い検査を実施

2：梱包

3：出荷

メンテナンス（アフターフォロー）

1：客先での定期メンテナンス

2：突発トラブル対応

3：オリフィス オーバーホール

4：ＭＫＳバルブ オーバーホール

供給可能部品

1：ベルト

2：N2シールド

3：搬送系モーター

4：ローラー

5：インジェクター

トレーニング

メーカーと同等のメンテトレーニング