MPAとはMirror（ミラー） Projection（プロジェクション）MaskAliner（露光装置）の略でミラーで構成された露光装置である。
これは、コンタクト露光装置の欠点でもあるマスクとウェハーの密着によるマスクへのダメージを回避する事のできる露光装置で、簡単に言うとマスクとウェハーの間にミラーで構成されたユニットを挟む。そして、マスクの下面とウェハーの上面の両方に焦点を作り共にスキャンさせ、95R状円弧光束を使用し露光させる。
MPAには、大きく分けて4種類ありMPAの後に付く数値と英文字で 大体の内容が把握できるようになっている。
| MPA500FA | 現在はほとんど使われていない装置で、この装置から色々な機能が追加されていく。 |
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| MPA500FAb | MPA500FAの後続機種。主に、本体内部とウェハーチャックの温調、搬送ハンドの表面持ちから裏面持ちへの変更。DR（直行度）のエアー調整機能が追加されている。一部FAｂはオートアライメント機能が向上したものなどもある。ちなみにＭＰＡ５００ＦＡｂ/５００ＦＡ共にウェハーサイズの最大はΦ５インチまでになる。また、この装置で追加された機能は６００シリーズには標準仕様となっている。 |
| MPA600FA | 現MPA500FAbの後続機種。最大ウェハーサイズΦ6インチでオートアライメント機能の２方式の選択可能、照明系の変更により、照度の安定性と解像力が向上している。裏面持ち搬送ハンドの変更などが上げられる。 |
| MPA600Super | MPA600FAの機能にテレビオートアライメント機能を追加し、LAB（マスクとウェハーをスキャンさせる部分）を通常のギアBOXとACサーボモーターの駆動からリニアモーター駆動へ変更、PDC機能を自動化されている。このMPAが半導体用では最終バージョンである。（液晶用も同原理でMPAと言う名前のものが存在する） |
PLAは簡単に一言で説明するならば日光写真の様な物である。 マスクとウェハー（ウェハーサイズΦ６からΦ２）を密着させマスク上面より平行光を照射し、パターンニングﾞする露光装置である。この装置のメリットは非常にコンパクトで多彩な機能を満載しているのが特徴的。 例えば露光方式で言うと、
