| ID | 工程 | 品名 | 社名 | 型式 | 寸法 |
| W150306017 | 成膜 | CVD | ノベラス | Concept One | 8 |
| W150306022 | 注入 | ミドルカレント注入機 | 住友イートンノバ | SEN MC-3 | 8 |
| W150306023 | 拡散 | RTP装置 | アプライドマテリアルズ | Centura | |
| W150626009 | フォトリソ | スキャナー | キャノン | ES4/ES5/ES6 | 12 |
| W150626010 | フォトリソ | スキャナー | キャノン | FPA-5510iz | 12 |
| W150626011 | 成膜 | CVD | アプライドマテリアルズ | Producer(GT TEOS) | 12 |
| W150626016 | 組立 | ダイボンダー | ASM | SD890A | |
| W150626017 | 組立 | ダイボンダー | ASM | SD832 | |
| W150626018 | 組立 | ダイボンダー | キャノンマシンナリー | CPS-400 | |
| W150715007 | フォトリソ | ステッパー | ニコン | SF100 | |
| W150715010 | フォトリソ | コーターデベロッパー | 東京エレクトロン | ACT8 | 8 |
| W150715011 | フォトリソ | デベロッパー | 東京エレクトロン | Mark8 | 8 |
| W150715012 | フォトリソ | ステッパー | ニコン | i11 | 8 |
| W150715019 | エッチャー | エッチャー | 日立 | M511 | 6 |
| W160314001 | 成膜 | スパッター | アネルバ | L-430S-FHL | |
| W160314002 | 成膜 | スパッター | アネルバ | CS-200 | |
| W160318002 | 検査 | 測長SEM装置 | 日立 | S7800H | |
| W160318003 | フォトリソ | コーターデベロッパー | 東京エレクトロン | ACT8 | |
| W160318004 | フォトリソ | SOGコーター | 東京エレクトロン | Mark-Vz | 6 |
| W160617052 | 検査 | SEM | 日立 | S-4800 | |
| W160617060 | フォトリソ | UVキュア | ウシオ | UMA-802-HC552 | |
| W160627002 | エッチャー | エッチャー | アプライドマテリアルズ | Ceturer DPSII METAL | 8 |
| W160627003 | 成膜 | 常圧CVD | 天谷 | AMAX-800 | |
| W160627004 | フォトリソ | ステッパー | ULTRATECH | Ultratec M1100 | |
