| CVD | AMAT | P-5000 |
| CVD | NOVELLUS | Concept-1 |
| ASHER | AXCELIS | 200ACU |
| SCRUBBER | DNS | SSW-636 |
| COATER | TEL | MARK-V |
| COATER | TOK | TS7171D-TW |
| DEVELOPER | TEL | MARK-V |
| DEVELOPER | DNS | SDW-60A |
| IMPLANTER | EATON | NV 10SD-160 |
| ETCHER | HITACHI | M318 |
| ETCHER | TE | TE-480 |
| ETCHER | TEL | TE-580LC |
| ETCHER | AMAT | P5000 |
| ETCHER | TEL | TE-8500 |
| ETCHER | PAC | 150PC |
| ETCHER | PAC | PAC150PC |
| CDSEM | HITACHI | S6100 |
| CDSEM | HITACHI | S6700 |
| SURFSCAN | KLA | SFS6420 |
| ETCHER | LAM | RAIMBOW4720 |
| STEPPER | NIKON | NSR2005i8A |
| OVEN | PBM | PBM-6200 |
| ASHER | PSC | DES-212-304AVL |
| ASHER | PSC | DES-212-304AVL3 |
| FURNACE | TEL | UM-1180-4TM |
| エッチャー | AMAT | Mxp P5000 |
| エッチャー | LAM | 4420 |
| エッチャー | LAM | R4400 |
| エッチャー | LAM | R4500 |
| エッチャー | LAM | RAINBOW4420B |
| CVD | NOVELLUS | Concept II Altus |
| プラズマCVD | SAMCO | PD270-ST |
| スパッタ | ANELVA | SPF-730H |
| ステッパー | CANON | FPA-3000i4 |
| ステッパー | CANON | FPA-3000i5 |
| ステッパー | CANON | FPA-3000iW |
| アッシャー | PLASMA_SYSTEM | DES212-304AVLIII |
| コーターデベロッパ | TEL | ACT-8 |
| SOGコーター | DNS | SCW-60A |
| コーター | DNS | SC-W60A AV |
| デベロッパ | DNS | SDW-60A |
| ウェハー洗浄装置 | DNS | SP-W813A |
| スクラバー | DNS | SSW-60A |
| 縦型PIQベーク装置 | KEM | DD-802V-A |
| 拡散炉 | KEM | DD-823V |
| 拡散炉 | KOYO | VF-5100B |
| ウェハーマーカー | LUMONICS | Wafer MarkII |
| 重ね合わせ測定装置 | Nanometrics | Metra2100 |
| リンサードライヤー | SEMITOOL | 4300S |