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CVD | AMAT | P-5000 |
CVD | NOVELLUS | Concept-1 |
ASHER | AXCELIS | 200ACU |
SCRUBBER | DNS | SSW-636 |
COATER | TEL | MARK-V |
COATER | TOK | TS7171D-TW |
DEVELOPER | TEL | MARK-V |
DEVELOPER | DNS | SDW-60A |
IMPLANTER | EATON | NV 10SD-160 |
ETCHER | HITACHI | M318 |
ETCHER | TE | TE-480 |
ETCHER | TEL | TE-580LC |
ETCHER | AMAT | P5000 |
ETCHER | TEL | TE-8500 |
ETCHER | PAC | 150PC |
ETCHER | PAC | PAC150PC |
CDSEM | HITACHI | S6100 |
CDSEM | HITACHI | S6700 |
SURFSCAN | KLA | SFS6420 |
ETCHER | LAM | RAIMBOW4720 |
STEPPER | NIKON | NSR2005i8A |
OVEN | PBM | PBM-6200 |
ASHER | PSC | DES-212-304AVL |
ASHER | PSC | DES-212-304AVL3 |
FURNACE | TEL | UM-1180-4TM |
エッチャー | AMAT | Mxp P5000 |
エッチャー | LAM | 4420 |
エッチャー | LAM | R4400 |
エッチャー | LAM | R4500 |
エッチャー | LAM | RAINBOW4420B |
CVD | NOVELLUS | Concept II Altus |
プラズマCVD | SAMCO | PD270-ST |
スパッタ | ANELVA | SPF-730H |
ステッパー | CANON | FPA-3000i4 |
ステッパー | CANON | FPA-3000i5 |
ステッパー | CANON | FPA-3000iW |
アッシャー | PLASMA_SYSTEM | DES212-304AVLIII |
コーターデベロッパ | TEL | ACT-8 |
SOGコーター | DNS | SCW-60A |
コーター | DNS | SC-W60A AV |
デベロッパ | DNS | SDW-60A |
ウェハー洗浄装置 | DNS | SP-W813A |
スクラバー | DNS | SSW-60A |
縦型PIQベーク装置 | KEM | DD-802V-A |
拡散炉 | KEM | DD-823V |
拡散炉 | KOYO | VF-5100B |
ウェハーマーカー | LUMONICS | Wafer MarkII |
重ね合わせ測定装置 | Nanometrics | Metra2100 |
リンサードライヤー | SEMITOOL | 4300S |